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发明名称 METHOD FOR MAKING A THIN FILM USING PRESSURISATION
摘要
申请公布号 EP1194951(A1) 申请公布日期 2002.04.10
申请号 EP20000949578 申请日期 2000.06.29
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 ASPAR, BERNARD;BRUEL, MICHEL;MORICEAU, HUBERT
分类号 H01L27/12;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
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