SOFT MAGNETIC FILM AND THIN FILM MAGNETIC HEAD PLANAR MAGNETIC ELEMENT AND FILTER USING THIS SOFT MAGNETIC FILM
摘要
<p>Fe-M(Zr, Hf, Ta 등)-O 계 합금에 Ti를 첨가함으로써 자왜정수를 저감할 수 있는 연자성 막을 제공한다. 또한, Ti의 첨가량을 0.1 at% 내지 2 at% 정도로 하고, 구성원소인 Fe, Hf, O의 조성비를 적정하게 조절함으로써, 자왜정수를 저감할 수 있음과 동시에 뛰어난 연자기특성을 얻을 수 있는 연자성 막을 제공한다.</p>
