| 发明名称 |
PERFEZIONATA CAMERA DI REAZIONE PER REATTORE EPITASSIALE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IT1312150(B1) |
申请公布日期 |
2002.04.09 |
| 申请号 |
IT1999MI00607 |
申请日期 |
1999.03.25 |
| 申请人 |
LPE S.P.A. |
发明人 |
PRETI FRANCO;OGLIARI VINCENZO;TARENZI GIUSEPPE |
| 分类号 |
C23C16/44;C30B25/14;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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