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发明名称 UNIVERSAL TOOL INTERFACE AND/OR WORKPIECE TRANSFER APPARATUS FOR SMIF AND OPEN POD APPLICATIONS
摘要
申请公布号 KR20020026157(A) 申请公布日期 2002.04.06
申请号 KR1020017013917 申请日期 2001.10.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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