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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung
摘要
申请公布号 DE69232432(D1) 申请公布日期 2002.04.04
申请号 DE1992632432 申请日期 1992.11.19
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 MIYAWAKI, MAMORU;KAWASUMI, YASUSHI;INOUE, SHUNSUKE;AKINO, YUTAKA;KOIZUMI, TORU;KOHCHI, TETSUNOBU
分类号 H01L21/20;H01L21/322;H01L21/762;H01L23/544;H01L27/092;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/76;G01N21/88;H01L21/82 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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