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Es wird ein Verfahren zum Bilden eines feinen Leiters mit einem hohen Genauigkeitsgrad angegeben. Das Verfahren zum Bilden eines Leiters umfaßt einen Prozeß zum Bilden eines ersten Films (106) auf einem Basismaterial (100), einen Prozeß zum Bilden eines zweiten Films (108) auf dem ersten Film, einen Prozeß zum Bilden eines ersten Öffnungsbereichs (110) in dem zweiten Film, so daß der zweite Film ein vorbestimmtes Muster hat, einen Prozeß zum Entfernen eines Bereichs des ersten Films, derart, daß der zweite Film als eine Haube dient, einen Prozeß zum Bilden eines Leiters (114a) auf dem Basismaterial unter Verwendung des ersten Films und des zweiten Films als Masken und einen Prozeß zum Entfernen des ersten Films und des zweiten Films.
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