Druckmesszelle mit Temperatursensoren und Druckmessverfahren

摘要

Eine Druckmeßzelle umfaßt einen Grundkörper (1), eine an dem Grundkörper (1) angeordnete, durch einen zu messenden Druck verformbare Membran (2) sowie einen ersten und einen zweiten Temperatursensor. Der zweite Temperatursensor ist von dem ersten in Richtung eines Temperaturgradienten beabstandet. Durch Überwachung der Differenz der von den Sensoren gemessenen Temperaturen oder der Änderungen der von einem Sensor gemessenen Temperaturen können Temperaturschocks der Meßzelle erfaßt und kompensiert werden.