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发明名称 UNIVERSAL TOOL INTERFACE AND/OR WORKPIECE TRANSFER APPARATUS FOR SMIF AND OPEN POD APPLICATIONS
摘要
申请公布号 EP1192674(A1) 申请公布日期 2002.04.03
申请号 EP20000928361 申请日期 2000.04.25
申请人 ASYST TECHNOLOGIES, INC. 发明人 BONORA, ANTHONY, C.;CORTEZ, EDWARD, J.;DIPAOLA, J., MARK;NETSCH, ROBERT, R.
分类号 B65G49/07;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
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