| 发明名称 |
Process for semiconductor device fabrication having copper interconnects |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0982771(B1) |
申请公布日期 |
2002.04.03 |
| 申请号 |
EP19990306470 |
申请日期 |
1999.08.17 |
| 申请人 |
LUCENT TECHNOLOGIES INC. |
发明人 |
GROSS, MICHAL EDITH;LINGK, CHRISTOPH |
| 分类号 |
H01L21/288;C25D7/12;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/288 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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