发明名称 | 聚束环 | ||
摘要 | 1.后视图、左视图、右视图与主视图相同,故省略后视图、左视图、右视图。2.本外观设计产品是活性离子浸蚀系统的浸蚀室中的底电极的一个零件。 | ||
申请公布号 | CN3230344D | 申请公布日期 | 2002.04.03 |
申请号 | CN01319948.X | 申请日期 | 2001.06.14 |
申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 今福光∴;风间晃一 |
分类号 | 15-99 | 主分类号 | 15-99 |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 杨松龄 |
主权项 | |||
地址 | 日本东京都 |