| 发明名称 |
METHOD FOR GENERATING A PULSED ELECTRON BEAM AND A TRIGGER PLASMA SOURCE FOR CARRYING OUT SAID METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1145269(A3) |
申请公布日期 |
2002.04.03 |
| 申请号 |
EP19990915636 |
申请日期 |
1999.03.17 |
| 申请人 |
FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH |
发明人 |
FREY, WOLFGANG |
| 分类号 |
H01J37/077;(IPC1-7):H01J27/04 |
主分类号 |
H01J37/077 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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