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发明名称
METHODS FOR PATTERNING POLYMER FILMS, AND USE OF THE METHODS
摘要
申请公布号
EP1192505(A1)
申请公布日期
2002.04.03
申请号
EP20000927984
申请日期
2000.05.12
申请人
THIN FILM ELECTRONICS ASA
发明人
INGANAES, OLLE;NYBERG, TOBIAS;GRANLUND, TOMAS
分类号
C08J7/04;B41C1/06;C08G65/22;C08J7/00;G03F7/00;H01L51/00;H01L51/30;H01L51/40;(IPC1-7):G03F7/00;B41M1/06;B81C1/00
主分类号
C08J7/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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