发明名称 METHOD OF PRODUCING A NON-VOLATILE SEMICONDUCTOR MEMORY CELL WITH A SEPARATE TUNNEL WINDOW
摘要
申请公布号 EP1192652(A1) 申请公布日期 2002.04.03
申请号 EP20000943661 申请日期 2000.05.30
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 WAWER, PETER;SPRINGMANN, OLIVER;WOLF, KONRAD;HEITZSCH, OLAF;HUCKELS, KAI;RENNEKAMP, REINHOLD;ROEHRICH, MAYK;STEIN VON KAMIENSKI, ELARD;KUTTER, CHRISTOPH;LUDWIG, CHRISTOPH
分类号 H01L21/8247;H01L21/336;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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