| 发明名称 |
Method for forming micro-pattern of semiconductor device |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2364393(B) |
申请公布日期 |
2002.04.03 |
| 申请号 |
GB20010015805 |
申请日期 |
2001.06.28 |
| 申请人 |
* HYNIX SEMICONDUCTOR INC |
发明人 |
SUNG-EUN * HONG;MIN-HO * JUNG;JAE-CHANG * JUNG |
| 分类号 |
G03F7/09;G03F7/11;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/09 |
主分类号 |
G03F7/09 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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