| 发明名称 | 锆钛酸铅陶瓷的功能梯度薄膜的制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种锆钛酸铅功能梯度薄膜的制备方法,属于功能薄膜领域。其特征在于前驱液以三水合醋酸铅、异丙醇锆(硝酸锆或醋酸锆)、钛酸丁酯为原料,以乙二醇甲醚为溶剂,按Pb(Zr<SUB>1－x</SUB>Ti<SUB>x</SUB>)O<SUB>3</SUB>(0≤x≤1)为配比,X间距为0.05至0.10,配制成PZT(x)前驱体溶液,制备以Zr/Ti成分为梯度分布的PZT功能梯度薄膜。梯度层数可以是3层或多层。可以是以PbZrO<SUB>3</SUB>为基础通过改变Zr/Ti成分梯度,也可以PbTiO<SUB>3</SUB>改变Zr/Ti成分梯度,或偏离PbZrO<SUB>3</SUB>和PbTiO<SUB>3</SUB>的PZT为基础,通过改变Zr/Ti成分的梯度。此种功能梯度铁电薄膜,比纯的PZT薄膜致密,具有良好的铁电、介电和热释电特性。是制备非制冷红外传感器的理想功能梯度材料之一。 | ||
| 申请公布号 | CN1342783A | 申请公布日期 | 2002.04.03 |
| 申请号 | CN01126759.3 | 申请日期 | 2001.09.14 |
| 申请人 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 发明人 | 唐新桂;丁爱丽;叶扬;仇萍荪;殷庆瑞 |
| 分类号 | C23C20/08;H01L37/00;C04B35/624;C04B35/462;C04B35/491 | 主分类号 | C23C20/08 |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 潘振甦 |
| 主权项 | 1.一种制备锆钛酸铅功能梯度薄膜的方法，包括前驱液的配制、成膜工艺的选择，其特征在于：(1)以含三个结晶水的醋酸铅、丙醇锆、钛酸丁酯为原料，以乙二醇甲醚为溶剂；先把醋酸铅充分溶解于乙二醇甲醚中，按Pb∶Zr∶Ti＝1.05-1.10∶1-X∶X，0≤X≤1，X间距为0.05-0.10，再加入相应的锆、钛溶液，调节浓度至0.2-0.3摩尔/升，配制成以Zr/Ti成分为梯度分布的锆钛酸钙薄膜所需的前驱液；(2)前驱液经过滤除去杂质，甩胶成膜法制膜，选择Pt/Ti/SiO2/Si为基片，甩胶速度控制在3000-4000转/分钟，时间30秒，然后放在320℃-420℃的热板上预处理10分钟，每种前驱液甩胶1次或2次，经过多次成膜-预处理-再成膜，获得一定厚度的向上或向下的功能梯度薄膜，再经550℃-650℃，氧气氛下迅速退火处理10分钟，升温速率是100℃/s，得到结晶完善，随机取向或择优取向的PZT功能梯度薄膜；梯度层数可以是3层或多层。 | ||
| 地址 | 200050上海市定西路1295号 | ||