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发明名称
摘要
申请公布号 JP3270187(B2) 申请公布日期 2002.04.02
申请号 JP19930097294 申请日期 1993.03.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/265;H01L21/316;H01L21/76;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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