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发明名称 Freestanding polymer mems structures with anti stiction
摘要
申请公布号 AU9479501(A) 申请公布日期 2002.04.02
申请号 AU20010094795 申请日期 2001.09.25
申请人 CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY 发明人 YU CHONG TAI;TZE-JUNG YAO;XING YANG
分类号 B81B3/00;B81C1/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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