摘要 |
Patente de Invenção: "INTEGRAçãO HìBRIDA DE COMPONENTES óTICOS ATIVOS E PASSIVOS EM UMA PLACA DE SILìCIO". A presente invenção se refere a uma estrutura de montagem e um método para uma estrutura de montagem e a um método para a montagem de dispositivos fotónicos e/ou opto-eletrónicos ativos e passivos em um placa de silício, A presente invenção se refere em particular a uma estrutura do montagem e a um método para o alinhamento dos dispositivos fotónicos durante o procedimento de montagem. De acordo com a presente invenção, a estrutura de montagem compreende um ou mais recursos de alinhamento compreendendo partes de superfície laterais afuniladas nas direções pelo menos substancialmente paralelas ao eixo geométrico ótico. Ao prover uma conicidade em uma direção pelo menos substancialmente paralela ao primeiro eixo geométrico ótico, quaisquer imprecisões basicamente afetam o posicionamento não crítico na direção ao longo do eixo geométrico ótico, enquanto o posicionamento crítico transversal ao eixo geométrico ótico simplesmente depende da simetria dos recursos de alinhamento. Os erros da imprecisão inerente da posição e do formato dos recursos de alinhamento são portanto minimizados. Da mesma forma, os dispositivos a serem alinhados são de preferência dispostos no topo dos recursos de alinhamento que fazem parte da estrutura básica da estrutura básica na placa de silício. Todos os recursos de alinhamento podem ser, deste modo, definidos em uma única etapa de máscara junto com as estruturas com as quais o alinhamento é executado, resultando em uma precisão aperfeiçoada da estrutura de montagem. Os componentes resultantes serão usados especialmente para os componentes de telecomunicação de banda larga.
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