发明名称 |
Micro electro-mechanical systems |
摘要 |
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申请公布号 |
AU8793601(A) |
申请公布日期 |
2002.04.02 |
申请号 |
AU20010087936 |
申请日期 |
2001.09.25 |
申请人 |
BOOKHAM TECHNOLOGY PLC |
发明人 |
CROFTON JOHN BRIERLEY;ANTHONY PATRICK NEEDHAM |
分类号 |
B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00;G02B26/00;G02B26/08 |
主分类号 |
B81B3/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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