发明名称 Micro electro-mechanical systems
摘要
申请公布号 AU8793601(A) 申请公布日期 2002.04.02
申请号 AU20010087936 申请日期 2001.09.25
申请人 BOOKHAM TECHNOLOGY PLC 发明人 CROFTON JOHN BRIERLEY;ANTHONY PATRICK NEEDHAM
分类号 B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00;G02B26/00;G02B26/08 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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