发明名称 Oxime derivatives and the use thereof as latent acids
摘要
申请公布号 AU2160602(A) 申请公布日期 2002.04.02
申请号 AU20020021606 申请日期 2001.09.18
申请人 CIBA SPECIALTY CHEMICALS HOLDING INC. 发明人 HITOSHI YAMATO;TOSHIKAGE ASAKURA;AKIRA MATSUMOTO;MASAKI OHWA
分类号 C07C309/63;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027 主分类号 C07C309/63
代理机构 代理人
主权项
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