Verfahren und Vorrichtung für die Reinigung von Werkstücken,申请号DE1996612930T-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Verfahren und Vorrichtung für die Reinigung von Werkstücken
摘要
申请公布号	DE69612930(T2)	申请公布日期	2002.03.28
申请号	DE1996612930T	申请日期	1996.09.19
申请人	EBARA CORP., TOKIO/TOKYO;KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI	发明人	MAEKAWA, TASHIRO;HAMADA, SATOMI;ONO, KOJI;SHIGETA, ATSUSHI;KODERA, MASAKO
分类号	B08B1/00;B08B1/04;B24B53/007;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/687;(IPC1-7):B08B1/04	主分类号	B08B1/00
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