Verbesserte Maskierungsverfahren während der Herstellung einer Halbleiteranordnung,申请号DE1996619316-传众专利搜索

发明名称	Verbesserte Maskierungsverfahren während der Herstellung einer Halbleiteranordnung
摘要
申请公布号	DE69619316(D1)	申请公布日期	2002.03.28
申请号	DE1996619316	申请日期	1996.07.25
申请人	MOTOROLA, INC.	发明人	SHIRALAGI, KUMAR
分类号	H01L21/205;H01L21/033;H01L21/20;H01L21/208;(IPC1-7):H01L21/20	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
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