| 摘要 |
<p>본 발명의 압전 공진자는, 2개의 밀봉 기판과, 밀봉부 및 두께 종 진동의 3차 고조파로 진동하기에 적합한 에너지 트랩형 압전 공진 소자를 포함한다. 압전 공진 소자는 압전 기판과, 이 압전 기판의 대향하는 양 주표면에 배치된 한쌍의 여진 전극을 포함한다. 여진 전극 사이에 위치하는 압전 기판의 부분은, 진동부를 구성한다. 밀봉 기판들은 각각 그 내부에 형성된 캐버티를 가지며, 캐버티가 진동을 위한 공간을 구성하도록 압전 기판의 양 주표면에 각각 부착된다. 밀봉부는 진동 공간 주위에 형성되어 누설 진동을 감쇠시킨다. 진동부는 그 대략 중심이 압전 공진 소자의 주표면 방향에 있어서 진동 공간의 대략 중심으로부터 소정의 거리를 유지하도록 배치된다.</p> |
