| 发明名称 |
Method for determining laser-induced compaction in fused silica |
| 摘要 |
The invention relates to fused silica having low compaction under high energy irradiation, particularly adaptable for use in photolithography applications.
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| 申请公布号 |
US2002036188(A1) |
申请公布日期 |
2002.03.28 |
| 申请号 |
US20010964987 |
申请日期 |
2001.09.26 |
| 申请人 |
ALLAN DOUGLAS C.;BORRELLI NICHOLAS F.;POWELL WILLIAM R.;SEWARD THOMAS P.;SMITH CHARLENE M. |
发明人 |
ALLAN DOUGLAS C.;BORRELLI NICHOLAS F.;POWELL WILLIAM R.;SEWARD THOMAS P.;SMITH CHARLENE M. |
| 分类号 |
G02B1/00;C03B8/02;C03B8/04;C03B19/06;C03B19/10;C03B19/14;C03B20/00;C03C1/00;C03C3/06;C03C23/00;G02B1/02;G03F7/20;(IPC1-7):G05G17/00;C03B23/02;B23K26/00 |
主分类号 |
G02B1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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