发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 EP1152232(A4) 申请公布日期 2002.03.27
申请号 EP19990902908 申请日期 1999.02.15
申请人 YAMATAKE CORPORATION 发明人 YONEDA, MASAYUKI;HONDA, NOBUAKI;FUKIURA, TAKESHI;NAGASAKI, SHOJI
分类号 G01L9/00;(IPC1-7):G01L9/06;H01L21/322;H01L29/84 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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