发明名称 Vapor deposition apparatus for forming thin film
摘要
申请公布号 EP0854210(B1) 申请公布日期 2002.03.27
申请号 EP19970122056 申请日期 1997.12.15
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO., LTD. 发明人 OHASHI, TADASHI;CHAKI, KATUHIRO;XIN, PING;FUJII, TATSUO;IWATA, KATSUYUKI;MITANI, SHINICHI;HONDA, TAKAAKI
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C30B25/14;(IPC1-7):C30B25/14 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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