发明名称 纳米压力传感器
摘要 一种纳米压力传感器,它由引压嘴、圆杯形纳米应变敏感元件、内引线装置、电路元件板、外引线装置、外罩组成,其特征是:引压嘴与圆杯形纳米应变敏感元件构成压力腔。起隔离、应变、钝化作用的纳米材料涂覆在敏感元件弹性体的外端面,通过光刻、微细加工等现代技术形成电桥的四个应变电阻,当介质的压力进入压力腔后,电桥的四个纳米应变电阻发生变化,电桥失出平衡,输出与压力成正比的电信号。本实用新型具有高精度、高可靠性、高稳定性、宽温度适用范围、耐恶劣环境等优良性能。
申请公布号 CN2483705Y 申请公布日期 2002.03.27
申请号 CN01235210.1 申请日期 2001.05.31
申请人 湖南长沙索普测控技术有限公司 发明人 安志超;杨彪;雷卫武
分类号 G01L1/22 主分类号 G01L1/22
代理机构 代理人
主权项 1、一种纳米压力传感器,它由引压嘴(1)、圆杯形纳米应变敏感元件(2)、内引线装置(3)、电路元件板(4)、外引线装置(5)、外罩(6)组成,其特征是:所述引压嘴(1)与圆杯形纳米应变敏感元件(2)焊成一体,购成压力腔;
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