一种外延反应器

摘要

一个具有平面圆盘形基座的外延反应器，包括：一个准平面管形的石英反应室（12），其中有一个可旋转的基座圆盘（14），基座上有许多凹穴（16a－h）用来放置相应的许多被加工料的圆盘形基片（18a－h）；一个环绕在管形反应室（12）周围，充满流动的冷却液（28）的水箱（26）；一个在反应室（12）周围，充满流动的冷却液（28）的水箱（26）；一个在反应室（12）外，位于水箱（26）平面，平行于基座圆盘（14）的准平面螺旋形的主感应圈；包括用来调整主感应圈（90）各个线圈和基座圆盘间距离的装置（118）；可能还包括平行于主感应圈（90）并与主感应圈（90）线圈紧密相连的线圈组成的次级感应圈（102）；可能还包括根据已知技术，用来选择性地把主感应圈（90）的每一圈连接到外部负载的、以及选择性地接通次级感应圈的每一个线圈的装置（158）；还包括为了使反应室的所有壁都反射最强的措施（完全镀金）；以及可能还包括位于衬底上方，在衬底表面提供连续可变的反射的装置（160）。

主权项

1.一种外延反应器，它包括：一个平面圆盘形基座(14)，基座上有许多用于放置加工料片(18)的位置(16)，并置于平面管道状的反应室(12)内，反应室的两个较大的管壁基本平行于圆盘形基座(14)的端面，基座绕其中心轴旋转，并由一个感应圈(90)感应加热，感应圈(90)尽量靠近基座(14)，但是位于反应室(12)外面，其特征在于：气体反应剂通过至少一个入口(22)进入并且通过管(24)排出，从而在反应室(12)中形成轴向流动；该感应圈由一个平行于基座(14)任一个端面的平面螺旋管构成，平面螺旋管由多个平面同心圆线圈(90a-h)用柔性导电连接器(91a-g)串联连接后形成；以及反应室(12)和感应圈(90)都浸在包括大量水(28)的水池(26)中。