| 发明名称 |
METHOD FOR MAKING A SEMICONDUCTOR DEVICE COMPRISING A STACK ALTERNATELY CONSISTING OF SILICON LAYERS AND DIELECTRIC MATERIAL LAYERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1190454(A1) |
申请公布日期 |
2002.03.27 |
| 申请号 |
EP20000946029 |
申请日期 |
2000.06.28 |
| 申请人 |
FRANCE TELECOM |
发明人 |
SKOTNICKI, THOMAS;JURCZAK, MALGORZATA |
| 分类号 |
H01L21/336;H01L21/762;H01L21/764;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786;H01L29/06 |
主分类号 |
H01L21/336 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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