发明名称 DUAL STAGE DEFORMABLE MIRROR
摘要
申请公布号 EP1190272(A2) 申请公布日期 2002.03.27
申请号 EP20010900884 申请日期 2001.01.05
申请人 GOODRICH CORPORATION 发明人 SHEN, GON-YEN
分类号 G02B26/08;G02B26/06;H01L41/09;H01L41/187;(IPC1-7):G02B26/06;G02B7/188 主分类号 G02B26/08
代理机构 代理人
主权项
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