| 摘要 |
본 발명인 협소대역 분자 불소 레이저 시스템은 오실레이터와 증폭기를 구비하고, 상기 오실레이터는 1pm이하의 선폭을 구비한 157nm 빔을 생성하고, 상기 증폭기는 소정의 양 이상으로, 예를 들면 1 또는 수 와트 이상으로 상기 빔의 전력을 증가시킨다. 상기 오실레이터는 분자 불소 및 버퍼 가스를 포함하는 레이저 가스로 채워진 방전 체임버와, 상기 방전 체임버 내에서, 상기 분자 불소에 에너지를 공급하기 위한 방전 회로에 연결된 전극들과, 상기 방전 체임버를 구비하고, 약 157nm 파장을 국비하는 레이저 빔을 생성하는 공진기를 구비한다. 선-협소 광학장치는 상기 레이저 빔의 선폭을 1pm이하로 감소기키기 위해 내부-및/또는 외부-공진기에 포함된다. 상기 증폭기는 동일한 또는 다른 방전 체임버일 것이고, 광학 및/또는 전기 지연이 상기 오실레이터로부터의 펄스가 상기 증폭기의 방전 전류의 최대값에서 상기 증폭기에 도달되도록 타이밍하는데 사용된다. |
