| 发明名称 |
FORMATION OF THIN FILM RESISTORS |
| 摘要 |
<p>본 발명은 다층 인쇄 회로판 내에 매립될 수 있는 박막 저항체에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 그러한 박막 저항체 구조물, 및 연소 화학 증착법을 사용하는 방법을 비롯하여 그러한 구조물의 제조 방법에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 연소 화학 증착법을 통해 기판 상에 저항 물질을 침착시킬 수 있는 화학 전구물 용액에 관한 것이다.</p> |
| 申请公布号 |
KR100322287(B1) |
申请公布日期 |
2002.03.25 |
| 申请号 |
KR19990015362 |
申请日期 |
1999.04.29 |
| 申请人 |
모르톤 인터내쇼날 인코포레이티드;마이크로코팅 테크놀로지, 인크. |
发明人 |
헌트앤드류티;황치지우안;샤오홍;토마스조;린웬이;슈프샤라에스;루텐헨리에이;맥켄타이어죤에릭;카펜터리차드더블유;바틈리스티븐이;헨드릭미첼 |
| 分类号 |
C23C16/40;C23C16/453;H01C7/00;H01C17/20;H01C17/24;H01L21/02;H05K1/16;H05K3/06 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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