| 主权项 |
1.一种可用以检测一处理槽内之处理液体的准位之装置,其系包含:一检测感测器,其可用以产生一与上述供应至该槽之液体的准位有关之输出信号;一决定电路,其可用以基于上述出自该检测感测器之输出信号,来决定该液体准位何时达到该槽内所建立之一第一位置;和一液体准位检测电路,其可用以基于该检测感测器自该处理液体最初供应至该槽之时刻恰至该液体准位达到该第一位置后所产生之一信号,来修正上述出自检测感测器之输出信号的准位与该液体准位间之一关系,藉以检测该槽内之液体准位。2.如申请专利范围第1项所申请之装置,其系进一步包含:一空心感测器管,其具有一位在该槽之第一位置处的开口末梢底端,以及适能被浸没在该处理液体内;和气体供应工具,其可用以将一压力大体上大于该液体上表面上方现有之压力的气体,供应至该感测器管,使足以充填其之内部,而完全至该开口末梢底端之一深度,该检测感测器可提供上述代表该感测器管之气体压力的输出信号,该决定电路系包含:一高通滤波器,其可用以摘取该输出信号内之任何交流成份,藉以产生一AC信号;和一信号处理器,其可用以整流上述出自高通滤波器之AC信号。3.如申请专利范围第1项所申请之装置,其中之检测感测器在运作上,可检测该液体准位何时达到一高于该处理槽内之第一位置的第二位置。4.一种可用以检测一处理槽内之处理液体的准位之装置,其系包含:一检测感测器,其可用以产生一与上述供应至该槽之液体的准位有关之输出信号;和一液体准位检测电路,其可用以使该检测感测器在该液体准位达到该槽内所建立之某一位置前所产生之一输出信号的信号准位,与一预定之参考信号准位做比较,藉以产生一修正信号,以及可用以基于此修正信号,修正该检测感测器所产生之输出信号,藉以检测该槽内之液体准位。5.一种可用以检测一处理槽内之处理液体的准位之装置,其系包含:一检测器工具,其可用以产生一有关上述供应至该槽之液体的准位之输出信号;一决定电路,其可用以基于上述出自检测感测器之输出信号,来决定该液体准位何时达到该槽内所建立之一位置;和一液体准位检测电路,其可用以使该检测感测器在该液体准位达到该位置前所产生之输出信号的信号准位,与一参考信号准位做比较,藉以产生一修正信号,以及可用以基于此修正信号,修正该检测感测器所产生之输出信号,藉以检测该槽内之液体准位。6.一种可用以检测一处理液体之准位的装置,其系包含:一空心感测器管,其系具有一位在该槽内所建立之一位置处的开口末梢底端,以及适能被浸没在一其准位适能被检测之处理液体内;一气体供应工具,其可用以将一压力大幅大于该液体上表面上方现有之压力的气体,供应至该感测器管,使足以充填其之内部,而完全达至该开口末梢底端之深度;一耦合至该检测感测器之一输出端子的决定电路,其可用以决定上述供应之液体的表面,是否接触到该感测器管之开口末梢底端;和一耦合至该检测感测器之输出端子的液体准位检测电路,其可用以检测该液体准位;该决定电路系包含:一可用以仅摘取该输出信号中之涟波以产生一AC信号之高通滤波器;和一可用以整流上述出自高通滤波器之AC信号的信号处理器;以及该液体准位检测电路系包括:一低通滤波器,其可用以移除该输出信号内之交流成分,藉以产生一输出信号;一缓冲储存工具,其可用以自该处理液体最初供应之时刻恰至该液体表面接触到该感测器管之开口末梢底端后,储存及输出上述出自该低通滤波器之输出信号;和一具有两个输入端子之计算工具,其一输入端子系耦合至该低通滤波器之一输出,以及其另一输入端子系耦合至该缓冲储存工具之一输出端子,该计算工具,可用以计算上述出自低通滤波器之输出信号与上述出自缓冲储存工具之输出信号间的差异。7.一种可用以检测一处理槽内之处理液体的准位之装置,其系包含:一布置在该处理槽内之第一检测感测器,其可用以检测一供以气体之第一空心感测器管内的压力变化,藉以产生一可代表该变化之第一输出信号,该感测器管系具有一开口末梢底端;一第一决定电路,其可用以基于上述出自第一检测感测器之输出信号,来决定该液体准位何时达到该槽内所建立之一第一预定位置;一液体准位检测电路,其可用以基于该第一检测感测器在该液体准位达到该第一位置之时刻所产生之一信号,来修正上述出自第一检测感测器之输出信号的准位与该液体准位间之关系,藉以检测该槽内之液体准位;一布置在该处理槽内之第二检测感测器,其可用以检测一供以气体之第二空心感测器管内的压力变化,藉以产生一可代表该变化之第二输出信号,该第二感测器管,在一高于该第一位置之第二位置处,系具有一开口末梢底端;和一第二决定电路,其可用以基于上述出自第二检测感测器之输出信号,来决定该液体准位何时达到该槽内所建立之第二预定位置。8.一种可用以检测一处理槽内之处理液体的准位之方法,其包含之步骤有:供应该处理液体至该处理槽;藉由一布置在该处理槽内之检测感测器,来决定该液体准位是否达到该处理槽内所建立之一位置,藉以产生一输出信号,以及可向应其之决定而产生一输出信号;检测该液体准位何时达到该位置;以及基于该检测感测器在该液体准位达到该位置之时刻所产生之一信号,来修正上述出自检测感测器之输出信号的准位,与该液体准位间之关系,藉以检测该槽内之液体准位。9.一种可用以检测一处理槽内之处理液体的准位之方法,其包含之步骤有:供应该处理液体至该处理槽;藉由一布置在该处理槽内之检测感测器,来决定该液体准位是否达到该处理槽内所建立之一位置,藉以产生一输出信号,以及可向应其之决定而产生一输出信号;检测该液体准位何时达到该位置;以及基于该检测感测器在该处理液体最初供应之时刻所产生之一信号,来修正上述出自检测感测器之输出信号的准位,与该液体准位间之关系,藉以检测该槽内之液体准位。10.一种可用以检测一处理槽内之处理液体的准位之方法,其包含之步骤有:供应该处理液体至该处理槽;藉由一布置在该处理槽内之检测感测器,来检测该液体准位,以便检测一供以气体之空心感测器管内的压力变化;以及产生一代表该感测器管内之压力变化的输出信号。图式简单说明:第1图系一合并有一依据本发明所制液体准位检测装置之第一实施例的圆晶片处理系统之示意透视图;第2图系一部份第1图中所示圆晶片处理系统之放大透视图,以及系显示一圆晶片转移装置;第3图系上述依据本发明所制液体准位检测器装置之第一实施例的示意图;第4图系上述液体准位检测器装置内之不同位置处的压力之曲线图;第5(a)至(g)图系例示第3图中所示液体准位检测器装置之电气电子电路的运作之波形曲线图;第6图系一其中装有圆晶片之处理槽的侧面图,以及系显示该转移装置;第7(a)和(b)图系一反射器之侧面和纵长横截面图;第8(a)和(b)图系一修饰式反射器之侧面和纵长横截面图;第9图系一可显示在该等圆晶片存在和不存在之情况中一出自一光源/检测器之输出信号的波形之曲线图;第10图系该圆晶片处理系统之一示意图;第11图系该圆晶片处理系统之一他型实施例的示意图;第12图系一为配合上述依据本发明圆晶片处理系统一起使用之加热器单元的示意图;第13图系一可供管道使用之支架的示意图;第14图系一可显示上述出自检测器之正常、向上偏移、和向下偏移的压力信号之波形的曲线图;第15图系一依据本发明所制液体准位检测装置之第二实施例的示意透视图;第16(a)至(c)图系一些可例示第15图中所示液体准位检测装置之一可用以检测该处理槽内之处理液体有关之上极限的压力感测器、一决定电路、等等之运作的波形曲线图;而第17图则系一依据本发明所制液体准位检测装置之第三实施例的示意透视图。 |
