| 主权项 |
1.一种抗静电且可移动式之光罩储存装置,包含:底部结构,包含轨道配置于其中;主体结构,配置于上述底部结构之上,其中上述之底部结构用以承载上述主体结构,以及利于该主体结构沿着该轨道做往返运动;旋转装置,设置于上述主体结构之上,俾使驱动该主体结运动;及复数个可抗静电之屏壁隔离结构,用以区隔每一光罩盒,基于电磁屏壁效应,以防止感应电荷之产生。2.如申请专利范围第1项之抗静电且可移动式之光罩储存装置,其中上述之主体结构包含隔离架构,将该主体结构区分为复数个空间并可强化支撑。3.如申请专利范围第1项之抗静电且可移动式之光罩储存装置,其中上述之底部结构之侧边包含一斜板。4.如申请专利范围第1项之抗静电且可移动式之光罩储存装置,其中上述之主体结构上端具有安全结构将该主体结构衔接于于天花板上之支撑结构。5.如申请专利范围第1项之抗静电且可移动式之光罩储存装置,其中包含导电材质所组成之轮子配置于该主体结构下侧。6.如申请专利范围第5项之抗静电且可移动式之光罩储存装置,其中上述之轮子、上述之底部结构、上述之主体结构以及轨道之构成结构形成接地状态,用以将静电导离。7.一种抗静电且可移动式之光罩储存装置,包含一主体结构,其特征包含可抗静电之屏壁隔离结构,用以区隔每一光罩盒,基于电磁屏壁效应,以防止感应电荷之产生,所述主体结构包含轨道配置于下侧,以及利于该主体结构藉由一驱动装置沿着该轨道做往返运动。8.如申请专利范围第7项之抗静电且可移动式之光罩储存装置,其中上述之驱动装置包含手动旋转装置,设置于上述主体结构之上,用以驱动该主体结运动。9.如申请专利范围第7项之抗静电且可移动式之光罩储存装置,其中上述之主体结构包含隔离架构,将该主体结构区分为复数个空间并可强化支撑。10.如申请专利范围第7项之抗静电且可移动式之光罩储存装置,其中上述之主体结构上端具有安全结构将该主体结构衔接于于天花板上之支撑结构。11.如申请专利范围第7项之抗静电且可移动式之光罩储存装置,其中包含导电材质所组成之轮子配置于该主体结构下侧。12.如申请专利范围第11项之抗静电且可移动式之光罩储存装置,其中上述之轮子、上述之底部结构、上述之主体结构以及轨道之构成结构形成接地状态,用以将静电导离。图式简单说明:图一所示为传统光罩储存架构。图二所示为传统光罩储存架构之导除静电方式。图三所示为传统光罩储存架构之移动轮。图四所代表为本发明主体结构之侧视图。图五所代表为本发明主体结构之实体照片。图六所代表之俯视图为包含复数个图一所示之单体排列于一空间中。图七以及图八所示为主体结构上端之安全结构。图九为架设底部结构以及轨道470施工图。图十、图十一为本发明底部结构包含支撑架构、轮子轮轴组以及轨道之图示。图十二所示为本发明复数个主体结构之单体排列于光罩储存室之状态。图十三所示可利用手动旋转旋转装置移动主体结构沿着轨道往返运动。图十四所示为光罩盒依续储存于可抗静电之屏壁隔离结构中。图十五所示为传统之架构与本发明抗静电、可移动式之光罩储存装置静电防护能力之比较图。 |
