| 摘要 |
Die Herstellung von optischen Wellenleitern auf Wellenleitersockeln, die z. B. aus einer entsprechend strukturierten Pufferschicht ausgebildet werden, verringert die Doppelbrechung, die durch thermisch induzierte Spannungen beim Glasherstellungsprozess entsteht. Daher kann die Konzentration an Dotierstoffen (z. B. Bor-Atome) in der Deckschicht zur Erzielung einer doppelbrechungsfreien optischen Komponente reduziert werden, da nicht mehr eine vollständige Anpassung des thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Glases an den des Silizium-Substrats notwendig ist. Dies hat den enormen Vorteil, dass optische Komponenten, die solche optischen Wellenleiter aufweisen, langfristig gegen äußere Einflüsse stabil bleiben.
|
