| 摘要 |
<p>Kassette zur Aufnahme flacher Werkstücke (12), beispielsweise Wafer, mit einem Gehäuse (1) mit Seiten (4, 5, 6, 7); einer Öffnung (7) an einer der Gehäuseseiten; Führungen (8), vorzugsweise Führungsschienen, zur Aufnahme und Separation der flachen Werkstücke in einem Stapel; einer Verriegelungsvorrichtung (9) zum Zurückhalten der flachen Werkstücke im Gehäuse (1); einem Kupplungsmechanismus (10), vorzugsweise eine kinematische Kupplung, zur Ankopplung der Kassette an eine Kassettenaufnahme; und einem Signalgeber (11) zur Identifizierung der Kassette.</p> |
