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发明名称 Verfahren zur Feinpositionierung von Mikroteilen
摘要
申请公布号 DE19840387(C2) 申请公布日期 2002.03.21
申请号 DE19981040387 申请日期 1998.09.04
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH 发明人 POLLAK, KLAUS;MUELLER, KLAUS-DIETER;HECKELE, MATHIAS
分类号 B23P19/00;B28D5/00;(IPC1-7):B65G47/90;B65G49/05 主分类号 B23P19/00
代理机构 代理人
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