发明名称 Vorrichtung zur mehrachsig feinjustierbaren Lagerung eines Bauteils
摘要 Bekannte Bauteillagerungen benutzen entweder sechs parallel geschaltete Zweigelenkglieder (Hexapode), die zwar mit sechs Freiheitsgraden in hoher Genauigkeit, aber nur in Abhängigkeit voneinander zu verstellen sind, oder über Verbindungskörper in Reihe geschaltete Zweigelenkglieder mit einachsig drehbaren Gelenken, die unter einer Fehleraddition nur zwei rotatorische Auslenkungen zulassen und sich in einem virtuellen Punkt als Ursprungspunkt eines kartesischen Koordinatensystems treffen. Um eine Lagerung zu konzipieren, die mit höchster Genauigkeit, Reproduzierbarkeit und axialer Steifigkeit eine Bewegung des Bauteils in allen sechs Freiheitsgraden ermöglicht, ist bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung vorgesehen, dass sechs parallel geschaltete Zweigelenkglieder (2J¶1¶, 2J¶2¶, 2J¶3¶, 2J¶4¶, 2J¶5¶, 2J¶6¶) mit je zwei dreiachsig drehbaren Gelenken (J¶1¶, J¶2¶) so in den Koordinatenebenen (XY, XZ, ZY) verteilt angeordnet sind, dass die rotatorischen (x¶rot¶, y¶rot¶, z¶rot¶) und translatorischen (x¶trans¶, y¶trans¶, z¶trans¶) Auslenkungen jeweils unter Verstellung möglichst nur eines Zweigelenkgliedes (2J¶1¶, 2J¶2¶, 2J¶3¶, 2J¶4¶, 2J¶5¶, 2J¶6¶) erzielbar sind ("bestimmte Justierung"). Als Gelenke (J¶1¶, J¶2¶) in den Zweiglenekgliedern (2J¶1¶, 2J¶2¶, 2J¶3¶, 2J¶4¶, 2J¶5¶, 2J¶6¶) werden bevorzugt flexible (J¶1¶, J¶2¶) Gelenke, insbesondere elastische Fasergelenke, eingesetzt. Mögliche Anwendungen sind Lagerungen für optische Bauelemente, insbesondere Spiegel.
申请公布号 DE10042802(A1) 申请公布日期 2002.03.21
申请号 DE2000142802 申请日期 2000.08.20
申请人 BERLINER ELEKTRONENSPEICHERRING-GESELLSCHAFT FUER SYNCHROTRONSTRAHLUNG MBH 发明人 NOLL, TINO;GUDAT, WOLFGANG;LAMMERT, HEINER
分类号 B23Q1/54;B25J7/00;B25J17/02;(IPC1-7):F16M7/00 主分类号 B23Q1/54
代理机构 代理人
主权项
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