| 摘要 |
<p>La présente invention se rapporte à des procédés de renforcement de la pression à basse température qui permettent de lier un matériau de cible à un matériau de plaque support capable de résister à des contraintes imposées par des taux élevés de pulvérisation. Les ensembles cibles de pulvérisation conformes à la présente invention sont de préférence composés de matériaux pour cible et de matériaux pour plaque de support qui présentent des coefficients de dilatation thermique différents et comportent des canaux de refroidissement internes intégrés. Dans la réalisation préférée, le lien résultant et l'ensemble des canaux de refroidissement coopèrent l'un avec l'autre.</p> |
