| 发明名称 |
Verfahren zur Einstellung einer optischen Projektionsvorrichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69614007(T2) |
申请公布日期 |
2002.03.21 |
| 申请号 |
DE19966014007T |
申请日期 |
1996.01.24 |
| 申请人 |
NIKON CORP., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
CHIBA, HIROSHI;YOSHIKAWA, TOSHIKAZU |
| 分类号 |
G02B27/00;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G02B27/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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