| 发明名称 |
Halbleiterherstellungssystem mit Selbstdiagnosefunktion und Selbstdiagnoseverfahren dazu |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69429841(D1) |
申请公布日期 |
2002.03.21 |
| 申请号 |
DE19946029841 |
申请日期 |
1994.04.28 |
| 申请人 |
TOKYO SEIMITSU CO. LTD., MITAKA |
发明人 |
NAKAMURA, MASAHARU |
| 分类号 |
H01L21/30;G03F7/20;G05B19/401;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/301;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00;G05B19/18 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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