| 摘要 |
<p>Die Erfindung bezieht sich auf Verfahren zur Herstellung eines Sensorbauteils mit einem umströmbar in einem Kanal gelagerten, elektrisch leitenden, länglichen Element, bei dem nach Abscheiden einer Isolationsschicht auf eine Tragschicht und einem darauf folgenden Abscheiden einer aus mindestens einer elektrisch leitenden Schicht bestehenden Beschichtung auf die Isolationsschicht die Beschichtung bis auf die zur Bildung des länglichen Elementes und dessen Zuleitungen benötigten Restbereiche unter bereichsweiser Freilegung der Isolationsschicht weggeätzt wird. Erfindungsgemäß wird nach dem Ätzen auf die Beschichtung (3) und die freigelegte Isolationsschicht (2) eine zusätzliche Isolationsschicht (7) abgeschieden, und nachfolgend in die Isolationsschicht (2) und die zusätzliche Isolationsschicht (7) unter zumindest teilweisem Freilegen des länglichen Elements (9) ein Kanal (8) derart geätzt, dass das längliche Element (9) lediglich in den durch die Isolationsschichten (2) und (7) gebildeten Seitenwänden des Kanals (8) gelagert ist und den Kanal freitragend durchsetzt.</p> |
