| 发明名称 |
Halbleiter-Speicherbauteil und Verfahren zu seiner Herstellung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69331534(D1) |
申请公布日期 |
2002.03.21 |
| 申请号 |
DE19936031534 |
申请日期 |
1993.03.30 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI |
发明人 |
KOHYAMA, YUSUKE |
| 分类号 |
H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108 |
主分类号 |
H01L27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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