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发明名称 Polycrystalline silicon film
摘要
申请公布号 GB0202533(D0) 申请公布日期 2002.03.20
申请号 GB20020002533 申请日期 1998.06.04
申请人 NEC CORPORATION 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/49;H01L29/786 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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