| 发明名称 | 采用形状记忆合金/硅双层驱动膜结构的微泵 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种采用形状记忆合金/硅双层驱动膜结构的微泵，它由NiTi形状记忆合金薄膜1及Si薄膜2构成的双层驱动膜、泵腔体3、进水泵4和出水阀5等组成。该微泵采用在泵腔体材料Si上直接沉淀形状记忆合金NiTi薄膜，形成NiTi/Si可双向运动的驱动膜，并运用微细图形化技术对结构进行优化设计。具有结构及制备工艺简单、输出流量大、驱动频率高、可控性强、功耗低、寿命长的特点。$#! | ||
| 申请公布号 | CN1081294C | 申请公布日期 | 2002.03.20 |
| 申请号 | CN99113953.4 | 申请日期 | 1999.08.04 |
| 申请人 | 上海交通大学 | 发明人 | 徐东;周勇;丁桂甫;蔡炳初;俞爱斌 |
| 分类号 | F04B43/02 | 主分类号 | F04B43/02 |
| 代理机构 | 上海交达专利事务所 | 代理人 | 李柏盛;王桂忠 |
| 主权项 | 1.一种采用形状记忆合金/硅双层驱动膜结构的微泵，由形状记忆合金NiTi薄膜驱动元件、泵腔体、进水和出水两个硅微阀组成，其特征在于：在泵腔体(3)顶部的材料Si(2)上直接沉积形状记忆合金NiTi薄膜(1)，形成NiTi/Si可双向运动的驱动膜。 | ||
| 地址 | 200030上海市华山路1954号 | ||