| 发明名称 |
METHOD TO MEASURE ALIGNMENT USING LATENT IMAGE GRATING STRUCTURES |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1188184(A2) |
申请公布日期 |
2002.03.20 |
| 申请号 |
EP20000991441 |
申请日期 |
2000.12.29 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.;PHILIPS SEMICONDUCTORS INC. |
发明人 |
ZIGER, DAVID |
| 分类号 |
G03F7/22;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/66;H01L23/544;G03F7/20 |
主分类号 |
G03F7/22 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
