| 发明名称 |
Method of manufacturing elements of floating, rigid microstructures and apparatus equipped with such elements |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0753671(B1) |
申请公布日期 |
2002.03.20 |
| 申请号 |
EP19960401540 |
申请日期 |
1996.07.11 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
VILAIN, MICHEL |
| 分类号 |
G01J5/20;B81B3/00;F15C5/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L49/00;(IPC1-7):F15C5/00;G01J5/02 |
主分类号 |
G01J5/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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