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发明名称 Exposure apparatus
摘要
申请公布号 EP0844532(B1) 申请公布日期 2002.03.20
申请号 EP19970309445 申请日期 1997.11.24
申请人 NIKON CORPORATION 发明人 KAMIYA, SABURO
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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