| 摘要 |
<p>본 발명은 순수 및 초순수 제조 시스템의 구동 표시장치 및 표시방법에 관한 것으로, 종래에는 제조 시스템의 구동상태를 표시하는 수단이 구비되어 있지 않은 관계로 시스템의 정화 상태를 사용자가 인식하지 못하는 단점이 있으며, 이로 인해 제조 시스템의 장시간 사용시 그 정화 내용에 대한 신뢰성이 크게 저하되는 문제점이 있었다. 이에 본 발명은 제조 시스템의 정면 패널에 시스템의 구동 상태를 표시하는 수단을 장착시키므로써 사용자는 순수 및 초순수 제조 시스템의 정화 작용을 용이하게 인식할 수 있으므로 순수 및 초순수 제조 시스템의 효율적 제어는 물론 그 정화 내용에 대한 신뢰성이 향상되게 된다.</p> |
