发明名称 石英玻璃坩埚及其制造方法
摘要 本发明涉及一种石英玻璃坩埚,该坩埚具有围绕旋转轴对称的不透明石英玻璃坩埚体,该坩埚体具有不透明石英玻璃的外区(3),外区(3)径向向内向密度至少为2.15g/cm<SUP>3</SUP>的透明石英玻璃的内区(4)过渡,该石英玻璃坩埚的特点表现在高纯度和高不透性,或在IR-区的低透射,本发明建议,坩埚体(1)由一种比表面(按BET)为0.5m<SUP>2</SUP>/g-40m<SUP>2</SUP>/g的、捣实密度至少为0.8g/cm<SUP>3</SUP>的合成SiO<SUB>2</SUB>-颗粒物制成,该颗粒物由SiO<SUB>2</SUB>基粒的至少部分多孔的聚集物构成。本发明的这种石英玻璃坩埚的制造方法的特征在于,为了制造该坩埚,采用由合成制造的SiO<SUB>2</SUB>-基粒的至少部分多孔的聚集体形成的SiO<SUB>2</SUB>-颗粒物,其比表面(按BET)为0.5m<SUP>2</SUP>/g-40m<SUP>2</SUP>/g,而且加热这样进行,即由透明石英玻璃形成内区(4)时,玻璃化锋面由内向外移动。
申请公布号 CN1341080A 申请公布日期 2002.03.20
申请号 CN00804068.0 申请日期 2000.12.14
申请人 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 发明人 W·维德克;J·莱斯特
分类号 C03B19/09;C30B15/10;C30B35/00;C03C3/06 主分类号 C03B19/09
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 卢新华;谭明胜
主权项 1.一种石英玻璃坩埚,它具有围绕旋转轴对称的不透明石英玻璃坩埚体,该坩埚体具有不透明石英玻璃的外区(3),该外区径向向内向密度至少为2.15g/cm3的透明石英玻璃的内区(4)过渡,其特征在于,坩埚体(1)由比表面(按BET)为0.5m2/g-40m2/g的、捣实密度至少为0.8g/cm3的合成SiO2-颗粒物制成,该颗粒物由SiO2-基粒的至少部分多孔的聚集体构成。
地址 德国哈瑙